WASCO真空開(kāi)關(guān)UHP160

自1989年以來(lái)，客戶一直依賴UHP160系列的可靠性和性能。除了全焊接結(jié)構(gòu)外，該系列還配備了全不銹鋼傳感器。UHP160系列采用了沃斯科的專有制造方法，消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開(kāi)關(guān)，精度高，公差小。

我們?yōu)榘雽?dǎo)體設(shè)備等較高純度應(yīng)用設(shè)計(jì)了這些開(kāi)關(guān)。UHP160系列不含任何彈性體或o型圈。根據(jù)SEMI F1，所有開(kāi)關(guān)都經(jīng)過(guò)氦泄漏測(cè)試，達(dá)到≤ 1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒。UHP160系列在100級(jí)潔凈室中制造和包裝。

煤氣箱

臭氧系統(tǒng)

氣體分配系統(tǒng)

半導(dǎo)體設(shè)備

醫(yī)療設(shè)備