ENTEGRIS輸送系統(tǒng)ProE-Vap 200

ProE-Vap 200 輸送系統(tǒng)專為原子層沉積 (ALD) 和化學氣相沉積 (CVD) 工藝中使用的固體前驅(qū)體而設(shè)計。它能為當前和未來技術(shù)節(jié)點使用的各種固體材料提供穩(wěn)定的質(zhì)量流量。固體前驅(qū)體由于蒸汽壓力低、熱穩(wěn)定性有限，很難穩(wěn)定地輸送到沉積室中。與其他蒸發(fā)器相比，ProE-Vap 輸送系統(tǒng)能在更低的溫度下更穩(wěn)定地輸送固體前驅(qū)體，從而降低 ALD 和 CVD 的擁有成本。大限度地減少了化學濃度漂移，從而提高了晶圓產(chǎn)量，減少了工具停機時間。自 2008 年以來，ProE-V 已在大批量生產(chǎn)環(huán)境中證明了其高可靠性和強大的性能。它支持輸送制造高度復雜的微電子器件所需的各種無機和過渡金屬前驅(qū)體。提供多種配置，可安裝在不同的 OEM 工具套件上。

填充能力比 ProE-Vap 100 高出七倍多

更高的流量應(yīng)用，包括間歇式熔爐

減少更換源的頻率

創(chuàng)新設(shè)計的安瓿用于固體前驅(qū)體的輸送

與傳統(tǒng)蒸發(fā)器相比，可在較低溫度下提供更高的質(zhì)量流量

支持氣動和手動閥門選項

整體性能高，在整個汽化器使用壽命期間流量始終如一

經(jīng)證明可用于半導體應(yīng)用中的多種固體前驅(qū)體，并可用于 LED 等其他新興技術(shù)

可有效利用前驅(qū)體，大限度地減少過熱導致的分解

與多個 OEM 工具兼容；支持開發(fā)型大批量晶片處理

降低擁有成本

材料汽化表面積增加 6 倍

托盤可改善材料的熱傳導，從而提高熱均勻性

載氣流穿過固體表面，提高了汽化材料的拾取率

產(chǎn)地：美國

Max溫度：200 °C（392 °F）

Max壓力：工作溫度下 100 psig

外形尺寸（高×寬）：331.34 × Ø243.84 mm（13.04 × 9.60 英寸）

進氣口位置：中軸

接頭類型：1⁄4 " 內(nèi)螺紋 VCR

高度：331.34 mm（13.04 英寸）

燃氣出口位置：偏離中軸 3.54 "

接頭類型：1⁄2 " 外螺紋 VCR

高度：328.31 mm（12.93 英寸）

材質(zhì)：316L SS

表面處理：≤ 10 Ra

載氣：UHP He（氦氣） UHP Ar（氬氣） UHP N₂（氮氣）

頂氣：5 psi He

原子層沉積--化學氣相沉積、高κ電容器和柵極電介質(zhì)、金屬屏障和電極、無氟鎢 (FFW)