ENTEGRIS流量控制器6550

Entegris 采用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今流量控制的難題。InVue 集成流量控制器 (IFC) 6550 型專為大宗化學(xué)品流量控制而設(shè)計(jì)。IFC 6550 型的設(shè)計(jì)流量為 60、90 或 120 L/min，是實(shí)驗(yàn)室散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用和需要大流量的液體流體處理系統(tǒng)的適配之選。集成式流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過程控制?？梢曋甘酒骺蔀轭A(yù)防性維護(hù)、故障排除和報(bào)警條件提供診斷，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 6550 型集成流量控制器設(shè)計(jì)用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 泥漿應(yīng)用。它還設(shè)計(jì)用于有效控制產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)。閥座和隔膜的設(shè)計(jì)大限度地減少了死體積和流體剪切力，從而降低了工藝污染的可能性。IFC 6550 型的潤濕部件采用氟化材料，是保護(hù)化學(xué)完整性的選擇。此外，耐化學(xué)腐蝕的非潤濕部件在惡劣的化學(xué)環(huán)境中也有良好的表現(xiàn)。InVue 6550 型集成流量控制器采用獨(dú)特的 PTFE 閥膜片，可實(shí)現(xiàn)大流量流體控制。利用電動(dòng)閥和流量計(jì)技術(shù)，封裝的內(nèi)部電子元件可控制流量控制器的所有方面。該產(chǎn)品由設(shè)定點(diǎn)信號（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流體流量保持在所需的設(shè)定點(diǎn)。

內(nèi)置壓力傳感器，可提供更多過程信息

經(jīng)證實(shí)，對產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)具有高測量和控制能力

設(shè)計(jì)堅(jiān)固，具有穩(wěn)定性和長期可靠性

精度高，適用于關(guān)鍵分配應(yīng)用

快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

LED 狀態(tài)和離散報(bào)警輸出，用于視覺和電子診斷

可按任何方向安裝

14G02：14 針配接 Turck 連接器，帶 2 米（6.5 英尺）PVC 護(hù)套電纜

14G05：14 針配接 Turck 連接器，帶 5 米（16.4 英尺）PVC 護(hù)套電纜

14G10：14 針配接 Turck 連接器，帶 10 米（32.8 英尺）PVC 護(hù)套電纜

產(chǎn)地：美國

閥體材料：PTFE , PFA

膜片材料：PTFE

傳感器接口材料：CTFE 或 PFA

主 O 形圈材料：Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件材料：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和 PVC（除上述材料外）

工作范圍：10 % 至滿量程流量

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去離子水校準(zhǔn)）

重復(fù)性：± 0.5 % 滿量程

壓力測量輸出：0 - 689 kPa (0-100 psig)

壓力精度：± 全量程的 1 %

工作壓力：103 - 552 kPa (15 - 80 psig) (60 L/min, 90 L/min)；172 - 552 kPa (25 - 80 psig) (120 L/min)

Min壓差要求：≥ 15 psi，（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psi，（120 L/min）

輸出信號：兩個(gè) 4 - 20 mA 電氣隔離輸出，一個(gè)用于流量，一個(gè)用于壓力

響應(yīng)時(shí)間：≥ 15 psid 時(shí)<3 秒（60 L/min，90 L/min）；≥ 25 psid 時(shí)<3 秒（120 L/min）

Max非工作超壓：827 kPa (120 psig)

工藝溫度：10 - 65 °C (50 - 149 °F)

電氣輸入：24 VDC (± 10%) @ 1.2 A

設(shè)定點(diǎn)輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC

外殼：IP 54

重量：3.2 kg（7 磅）

符合認(rèn)證：CE

大流量應(yīng)用，如批量輸送或工具液體分配、關(guān)鍵分配應(yīng)用、化學(xué)品添加和混合、按需化學(xué)混合