ENTEGRIS液體濃度監(jiān)測(cè)儀GV148

集成式緊湊包裝中的實(shí)時(shí)過程監(jiān)控。InVue GV148 液體濃度監(jiān)測(cè)儀可為化學(xué)品混合、添加和稀釋提供實(shí)時(shí)過程流體濃度測(cè)量，而不會(huì)造成過程干擾或中斷。GV148 液體濃度監(jiān)測(cè)器集成在一個(gè)緊湊的高純度封裝中，可提供經(jīng)濟(jì)有效的高性能濃度監(jiān)測(cè)，從而提高前端在線 (FEOL)、后端在線 (BEOL) 和實(shí)驗(yàn)室化學(xué)品輸送系統(tǒng)的工藝效率。工藝可視性的提高可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的工藝控制、更高的晶片產(chǎn)量、更少的化學(xué)品用量和更低的廢品率。GV148 監(jiān)測(cè)器采用成熟的折射率技術(shù)，結(jié)構(gòu)緊湊，可提供準(zhǔn)確、保障和可重復(fù)的液體濃度測(cè)量方法。在線傳感器可準(zhǔn)確測(cè)量工藝液體的折射率 (IoR) 和溫度。然后利用這些信息計(jì)算工藝流體的濃度。InVue GV148 濃度監(jiān)測(cè)器采用折射率技術(shù)，當(dāng)光線從窗口/液體界面反射到光電二極管陣列 (PDA) 時(shí)，監(jiān)測(cè)器便開始工作。反射角度由液體和窗口之間的折射率決定。定制設(shè)計(jì)的 Entegris 算法可測(cè)量反射光強(qiáng)度的微小變化。這種反射幾何形狀和微型化使其具有其他技術(shù)無(wú)法比擬的濃度監(jiān)測(cè)性能。

利用折射率測(cè)量 CMP 泥漿和 H₂O₂ 等非導(dǎo)電流體

內(nèi)置電子元件，占地面積小，很大限度地減小了工具尺寸

人機(jī)界面軟件可進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)記錄、分析和定制

窗口清潔端口便于清潔藍(lán)寶石窗口

GV1CBLH04：19 針 Turck 連接器，帶 4.0 米（13.12 英尺）PVC 護(hù)套電纜

GV1USBCVT：USB 至 4 線串行轉(zhuǎn)換器

產(chǎn)地：美國(guó)

流動(dòng)池主體材質(zhì)：聚四氟乙烯 (PTFE)

光學(xué)窗口材質(zhì)：?jiǎn)尉{(lán)寶石

電纜護(hù)套材質(zhì)：聚氯乙烯（PVC）

電纜護(hù)套材質(zhì)：聚氯乙烯 (PVC)

外殼材質(zhì)：聚偏氟乙烯 (PVDF)

安裝板材質(zhì)：聚丙烯 (PP)

電纜連接：19 針 Turck 公頭

額定電流：?jiǎn)?dòng)時(shí) 1.0 A；運(yùn)行時(shí) 0.5 A

主電壓輸入：24 VDC

IO 電壓輸入：12 - 24 VDC

短路保護(hù)：是

外部 LED：4

模擬輸出：4 - 20 mA 濃度、液體溫度、折射率 (RI)

離散數(shù)字輸入：2

離散數(shù)字輸出：2，Max 80 mAdc（每個(gè)）

復(fù)零：數(shù)字輸入、串行命令或人機(jī)界面軟件

串行通信RS485：2 線制或 4 線制

串行通信RS422：4 線制

操作系統(tǒng)兼容性：Windows 7 或 10

網(wǎng)絡(luò)兼容：是

Max壓力：40 ℃ (104 °F) 時(shí) 80 psig

工藝流體溫度范圍：20 至 40 ℃ (68 至 104 °F)

環(huán)境溫度范圍：20 至 35 ℃ (68 至 95 °F)

存儲(chǔ)溫度范圍：-15 至 40 ℃ (5 至 104 °F)

RI 測(cè)量范圍：1.32 - 1.40 nD

精度：± 2 × 10^-4 nD（20 ℃ [68 °F] 時(shí)為 1.332987 至 1.4000 nD）

重復(fù)性：5 × 10^-5 nD（在 20 ℃ [68 °F] 透明液體中）

精度：3 × 10^-6 nD（在 20 ℃ [68 °F] 的去離子水中）

響應(yīng)時(shí)間：<3 秒到 63 % 穩(wěn)定狀態(tài)變化的平均響應(yīng)時(shí)間

漂移：<5 × 10^-5 nD/30 天（20 ℃ [68 °F] 時(shí)）

壓力靈敏度（典型值）：8 × 10^-7 nD/psig（在 20 ℃ [68 °F] 的去離子水中）

是否符合 ROHS 標(biāo)準(zhǔn)：是

外殼：IP54

方向：任意

泥漿中的 H₂O₂ 加標(biāo)、泥漿稀釋、專用添加劑混合、全局和局部回路監(jiān)測(cè)、批量工具化學(xué)品混合、熔池壽命檢測(cè)、CMP 后清潔化學(xué)品混合