ENTEGRIS電子流量計(jì)4400T0F2B12AP7U3

提供同步流量和壓力輸出。無(wú)論是自動(dòng)化、過(guò)程控制還是保障問(wèn)題都需要流量和壓力測(cè)量，儀表須清潔、準(zhǔn)確、可靠。為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求，Entegris 將新型的電子傳感技術(shù)與高純度材料相結(jié)合，創(chuàng)造出可更好地控制過(guò)程變量的產(chǎn)品。InVue NT4400 電子流量計(jì)專為半導(dǎo)體行業(yè)的高純應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可與高腐蝕性工藝兼容。穿流設(shè)計(jì)很大限度地減少了死體積，降低了工藝污染的可能性。該儀器的所有潤(rùn)濕部件均采用聚四氟乙烯和其他高純度含氟聚合物。該儀器采用非金屬壓力傳感技術(shù)，利用壓差提供準(zhǔn)確可靠的流量和壓力測(cè)量。流量和壓力測(cè)量不受氣泡或殘留蒸汽的影響。所有產(chǎn)品均在出廠前經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)和 完整驗(yàn)證，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，安裝簡(jiǎn)單。標(biāo)準(zhǔn)電子輸出可與 PLC、控制系統(tǒng)和電子顯示器輕松集成。

無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，不會(huì)產(chǎn)生微粒

非金屬傳感技術(shù)，測(cè)量可靠

內(nèi)置壓力傳感器，可提供額外的過(guò)程信息

流過(guò)式設(shè)計(jì)可很大限度地減少死體積

1 % 滿刻度精度，用于關(guān)鍵測(cè)量

易于在任何方向安裝

產(chǎn)地：美國(guó)

潤(rùn)濕部件主體：聚四氟乙烯

傳感器接口：PFA 或 CTFE

主密封件：Perfrez

非潤(rùn)濕部件：聚丙烯、聚乙烯、PVDF 和 PVC 或 FEP 護(hù)套電纜（除上述材料外）

工藝溫度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸入：24 VDC（12至28 VDC 輸入電壓）

電氣輸出：兩個(gè) 4至20 mA 隔離輸出，一個(gè)為流量輸出，一個(gè)為出口壓力輸出

壓降：80 % 流量時(shí)為 21 kPa (3 PSID)，10：1 降壓比

流量測(cè)量精度

量程的 20 %至滿：± 1.0 % FS

量程的 10 至 20 %：± 2.5 % FS

(精度以滿量程 FS 的百分比表示，使用 70 °F [23 °C] 下的去離子水，包括線性、滯后和重復(fù)性的綜合影響）

量程的 20 %至滿：± 0.5 % FS

量程的 10 至 20 %：± 1.0 % FS

壓力測(cè)量范圍：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

Min工作壓力（出口處）：7 kPa (1 psig)

Max工作壓力：414 kPa (60 psig)

過(guò)壓限制：690 kPa (100 psig)

壓力測(cè)量精度：滿刻度的 ± 1 %(包括線性、滯后和重復(fù)性的綜合影響）

電氣外殼：IP54

符合認(rèn)證：CE、ETL

符合標(biāo)準(zhǔn)：ANSI/ISA  12.12.01、UL 標(biāo)準(zhǔn) 61010-1

可測(cè)量流量和管路壓力，適合在以下應(yīng)用中監(jiān)測(cè)和控制流量：化學(xué)品、去離子水和漿料分配

準(zhǔn)確混合和計(jì)量、用于監(jiān)管轉(zhuǎn)移的總流量、系統(tǒng)診斷