ENTEGRIS密封氣體過(guò)濾器SF Mini Plus

SurfaceLine 過(guò)濾器提供業(yè)內(nèi)較小的表面貼裝設(shè)計(jì)。Wafergard SL 1.125" W-seal氣體過(guò)濾器采用表面貼裝設(shè)計(jì)，是業(yè)內(nèi)適配過(guò)濾器。表面貼裝式氣體過(guò)濾器的設(shè)計(jì)目的是減少氣體面板上用于標(biāo)準(zhǔn)在線設(shè)計(jì)的空間，同時(shí)減少投資并增加變化。有 SF Mini、SF Mini Plus 和 SF Mini XL 三種型號(hào)。SF Mini Plus 過(guò)濾器設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省空間，具有與 SF Mini XL 過(guò)濾器相同的高流速特性，是工藝氣體和清洗氣體的好選擇。

SurfaceLine 集成式氣體過(guò)濾器可節(jié)省氣體面板的空間

全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)與大多數(shù)半導(dǎo)體工藝氣體（與 O₃ 不兼容）具有良好的化學(xué)兼容性

特殊的清潔技術(shù)和高溫烘烤實(shí)現(xiàn)了高初始清潔度，并能快速啟動(dòng)氣體輸送

高流速和低壓降特性適用于低蒸汽壓氣體

顆粒去除效率高，有助于提高產(chǎn)量

SF Mini Plus 過(guò)濾器設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省空間，具有與 SF Mini XL 相同的高流速特性，因此適合用于工藝氣體和清洗氣體

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間、流量大

訂購(gòu)編號(hào)WGSLSFW1H：SF Mini XL

訂購(gòu)編號(hào)WGSLSFW1M：SF Mini

訂購(gòu)編號(hào)WGSLSHW1MP-T：SF Mini Plus

產(chǎn)地：美國(guó)

膜材質(zhì)：316L 不銹鋼

外殼、端蓋材質(zhì)：低硫 316L 不銹鋼

內(nèi)表面光潔度：≤ 7 µin Ra (Ra ≤ 0.17µm)

顆粒保留率：大于 99.9999 % ≥ 0.0015 µm（SF Mini @ 30 slm、SF Mini Plus @ 50 slm、SF Mini XL @ 60 slm）

初始下游清潔度：≤ 0.03 顆粒/升，≥ 0.01 μm

連接：1.125 英寸 W 形密封表面安裝

設(shè)計(jì)壓力：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)

Max壓差：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)

Max設(shè)計(jì)溫度：120 °C (258 °F) - 惰性氣體

氦氣泄漏等級(jí)

合格：2 x 10^-11 Pa·m³/sec

已測(cè)試：1 x 10^-10 Pa·m³/sec

超純氣體管路、高溫應(yīng)用、動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用、氣體面板