ENTEGRIS氣體凈化器GPU 35

高純度控制。Entegris 的 GateKeeper GPU 氣體純化器專為提高純度一致性、使用壽命和高純度氣體至關(guān)重要的微電子應(yīng)用中的純度而設(shè)計。利用我們在材料科學(xué)方面的研發(fā)知識，我們開發(fā)出了新一代 AP 氣體凈化產(chǎn)品，具有很高的價值和性能。過程控制和保護，純度控制在低于十億分之一 (ppb) 的水平；通過凈化器的壓降很低；通過壓力設(shè)備指令 (PED) 的 CE 認(rèn)證；在 ISO 9001:2015 工廠制造。成本效益高，使用壽命長 - 降低擁有成本。使用保障簡單，采用環(huán)境溫度凈化 - 無需加熱或供電即可運行；對方向（水平/垂直）不敏感

純度達到 ppt 級

兼容多種氣體，包括 Cl₂、HBr、HCl、CF₄、SO₂、SF₆ 等腐蝕性氣體

凈化器壓降低

通過 CE 認(rèn)證，符合壓力設(shè)備指令 PED，在 ISO 9001-2000 工廠制造

可再生 - 解決了處理問題并降低了成本

使用壽命長--提高了擁有成本

使用環(huán)境溫度凈化

該組件包含額外的閥門和管道，以便工藝氣體可以繞過凈化器。Entegris 為許多標(biāo)準(zhǔn) GPU 氣體凈化器提供 3 閥門和 5 閥門旁路組件（需單獨購買）。

產(chǎn)地：美國

凈化氣體：AsH₃、PH₃

H₂O出口純度：< 1 ppbV

O₂出口純度：<1 ppbV

金屬出口純度：< 1 ppbV

出口顆粒過濾器：Wafergard - 316 不銹鋼膜，20 μm 或 0.0015 μm

使用壽命：在入口濕度為 0.5 ppm 時為一年，壽命隨入口雜質(zhì)和流速而變化。

可再生：否

危險品 (DG)：否

工作溫度：0 至 65 °C (32 至 149 °F)

泄漏等級：1 × 10^-9 atm cc/sec of He

外殼材質(zhì)：316L 不銹鋼

符合認(rèn)證：CE 認(rèn)證，符合壓力設(shè)備指令 (PED)；設(shè)計符合 ASME 標(biāo)準(zhǔn)。

散裝氣體輸送、光刻、外延、干法蝕刻、晶片生長、沉積