ENTEGRIS氣體凈化器LPDF 10R R4

用于去除光刻應(yīng)用中的碳?xì)浠衔?、酸和堿 。Luminousgard 使用點在線氣體凈化器可有效去除氣體中的碳?xì)浠衔镆约坝袡C(jī)物、酸堿雜質(zhì)和顆粒。這些超純活性精度氣體過濾器對于凈化半導(dǎo)體制造工藝中光刻應(yīng)用的凈化氣體尤為有效。

可去除 CDA、N₂、Ar 和 He 氣體中的雜質(zhì)

優(yōu)良的初始清潔度

有效去除氣流中的微粒

無需電源即可使用

多種型號適用于各種流速

LUMINOUSGARD 氣體凈化器：Max流量 30 slpm

LUMINOUSGARD 1000 氣體凈化器：Max流量 200 slpm

LUMINOUSGARD 2000 氣體凈化器：Max流量 500 slpm

LUMINOUSGARD 4000 氣體凈化器：Max流量 800 slpm

訂購編號LPDF 10R R4：Luminousgard 1000氣體凈化器 1/2 "墊片密封（兼容1/2 "VCR）公頭

訂購編號LPDF 10S S4：Luminousgard 1000 氣體凈化器 1/2" 壓縮密封件（兼容 1⁄2" Swagelok卡套管接頭）

產(chǎn)地：美國

濾芯材質(zhì)：PTFE/PFA

外殼材質(zhì)：316L/304 不銹鋼

截留率

揮發(fā)性碳?xì)浠衔铮?ge; 99.9 % （≥ C₆ 碳?xì)浠衔铮?/p>

揮發(fā)性酸：≥ 99.9 %（如 SO₂、SO₃、NO₂、HCl、H₂S）

揮發(fā)性堿：≥ 99.9 %（如 NH₃、CH₃NH₂、[CH₃]₃N）

顆粒：≥ 99.9999999 % 清除所有 ≥ 0.003 µm 的顆粒

初始下游清潔度

揮發(fā)性物質(zhì)：≤ 1 ppb （≥C₆ 揮發(fā)性碳?xì)浠衔飻?shù)量 @ 1 slpm)

微粒：≤ 0.03 微粒/L ≥ 0.01 µm @ 30 slpm

入口/出口連接：1/2 英寸墊片密封（1/2 英寸 VCR 兼容）外螺紋接頭

氣體類型：CDA、N₂、Ar 和 He

Max流速：200 slpm

設(shè)計壓力：0.98 兆帕（9.8 巴，142.1 psig）@ 25 °C (77 °F)

Max設(shè)計正向壓差：0.7 兆帕（7 巴，101.5 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max設(shè)計反向壓差：0.25 兆帕（2.5 巴，36.3 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max工作溫度：50 °C (122 °F) - 惰性氣體

大約產(chǎn)品重量：3.21 kg（7.08 磅）

使用壽命：準(zhǔn)確確定使用壽命需要流量、占空比、雜質(zhì)類型和雜質(zhì)濃度。

潔凈干燥空氣 (CDA)、曝光設(shè)備的鏡頭吹掃氣體管路、激光發(fā)生器的清洗氣體管路、惰性氣體供應(yīng)管路