SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI

我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀SP 5000 DI具有獨(dú)特的熱穩(wěn)定性，因此是研發(fā)中長(zhǎng)期測(cè)量的選擇，例如用于材料性能分析。

與標(biāo)準(zhǔn)干涉儀不同，在差分型中，參考光束從傳感器頭引出，并平行于測(cè)量光束。這一概念允許將傳感器放置在離實(shí)際測(cè)量位置更大的距離處，而不會(huì)顯著影響測(cè)量的分辨率或穩(wěn)定性。該干涉儀的長(zhǎng)度分辨率在亞納米范圍內(nèi)，并且由于微分原理，即使在正常的實(shí)驗(yàn)室條件下，也可以在類似的測(cè)量或光束長(zhǎng)度下實(shí)現(xiàn)。

如果使用傾斜不變反射器進(jìn)行測(cè)量，則長(zhǎng)度測(cè)量的測(cè)量范圍可以是幾米。干涉測(cè)量系統(tǒng)具有模塊化設(shè)計(jì)，并且因此可以適用于相應(yīng)的測(cè)量任務(wù)。

調(diào)整很簡(jiǎn)單，特別是可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)。對(duì)基于SP 5000 DI干涉儀的干涉多軸系統(tǒng)的擴(kuò)展允許同時(shí)進(jìn)行多坐標(biāo)測(cè)量。

• 高精度的差動(dòng)長(zhǎng)度或角度測(cè)量
• 通過(guò)差分測(cè)量更小化環(huán)境影響
• 熱長(zhǎng)期穩(wěn)定傳感器，溫度靈敏度<20 nm/K
• 可以使用各種光學(xué)反射器，例如球面、平面反射鏡反射器
• 測(cè)量反射鏡的大傾角不變性
• 標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼傳感器頭設(shè)計(jì)
• 光束距離：21毫米
• 廣泛的觸發(fā)器選項(xiàng)
• Windows和Linux下OEM軟件的開(kāi)放接口

球反射器直徑15毫米

球形反射器單元

環(huán)境校正

產(chǎn)地：德國(guó)

位移測(cè)量范圍：5 m

位移分辨率：5 pm

角度測(cè)量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分

光束距離（標(biāo)準(zhǔn)）：21 mm

波長(zhǎng)：632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性（預(yù)熱時(shí)間之后）：2·10-8

HeNe激光器的預(yù)熱時(shí)間：10 ... 20 min

工作溫度范圍：15 ... 30°C

測(cè)量反射鏡的位移速度：max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長(zhǎng)度：3 m，max.10 m

電源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（長(zhǎng)x寬x高）

傳感器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元（標(biāo)準(zhǔn)）：450 x 400 x 150 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm

重量

感測(cè)頭：2.0 kg

底盤：1.5 kg

差分激光干涉儀可作為OEM版本提供，可作為編碼器安裝在機(jī)器軸上。對(duì)于真空測(cè)量，SP 5000 DI可作為真空優(yōu)化版本提供。

標(biāo)準(zhǔn)光束距離為21毫米。我們可根據(jù)要求提供其他光束距離。