168 大型 HV 擺式隔離閥即使在惡劣的工藝條件下也能提供可靠的隔離性能。它非常適合大流量應用中的隔離要求,例如大型涂層或顯示器生產系統(tǒng)。因此,它提供 DN 400 和 500mm 兩種規(guī)格。168 閥門提供可選的 3 位氣動或標準氣動,均為雙作用。
憑借其特殊的分體式設計,無需拆卸管道連接或工藝室連接即可進行維護。其纖薄的設計允許將 168 直接安裝到制程腔體,從而消除了例如腔室 - 閥門 - 泵連接中通常需要的體積。
憑借其堅固的設計以及多種設計選項,168 系列易于集成到各種真空工藝中。
168系列已在全球數(shù)百個批量和在線生產系統(tǒng)中安裝在各種工藝條件下,已在各個方面證明了其性能。
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