ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550

Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計(jì)。 IFC 6550 型設(shè)計(jì)的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過(guò)程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計(jì)用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計(jì)用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。

• 使用成熟可靠的差壓流量測(cè)量技術(shù)和先進(jìn)的閉環(huán)過(guò)程控制
• 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報(bào)狀況提供診斷
• 集成壓力傳感器提供額外的過(guò)程信息
• 使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的測(cè)量和控制
• 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定性和長(zhǎng)期可靠性
• 設(shè)計(jì)為 60、90 或 120 L/min流速