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自動(dòng)對焦、自動(dòng)壓痕測量、自動(dòng)載物臺(tái),陰影圖像處理,不易受金屬結(jié)構(gòu)和劃痕的影響,可重復(fù)性高于專家的自動(dòng)測量。樣品組后壓痕形成、聚焦和壓痕測量的所有過程都是無人值守的。
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