BIRD脈沖功率傳感器7027

7037 和 7027 系列在線射頻功率傳感器率先將可追溯的測量精度引入市場，適用于需要準(zhǔn)確射頻功率測量的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體、激光行業(yè)。BIRD先進(jìn)的 CW 和脈沖傳感器，大限度地減少射頻工藝的可變性，改變等離子室與室的匹配，并為您的射頻傳輸系統(tǒng)提供重要的洞察力。借助 Bird 的校準(zhǔn)技術(shù)，可在整個動態(tài)范圍內(nèi)保證百分之0.5的精度，從而確保單元間的可重復(fù)性并降低過程可變性。無論您使用的是 CW 還是 Pulsed RF，這兩種測量結(jié)果都會使用 Bird 的功率計(jì)自動顯示，無需切換模式。在每個脈沖內(nèi)使用多達(dá) 4 個間隔自定義您的復(fù)雜工藝配方測量。

• 通過射頻發(fā)生器校準(zhǔn)和驗(yàn)證，這些高精度傳感器可確保射頻發(fā)生器輸出的可靠性。
• 使用 VPM3 記錄和分析來自實(shí)驗(yàn)配方的射頻功率數(shù)據(jù)，以實(shí)現(xiàn)更簡化的工藝開發(fā)。
• 現(xiàn)場流程監(jiān)控允許在運(yùn)行時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)控流程以檢測異常情況。
• RF 脈沖波形的時(shí)域分析提供了對高功率 RF 脈沖的更深入了解。

• 測量類型：CW 和多態(tài)脈沖射頻功率
• 阻抗，標(biāo)稱：50 歐姆
• 駐波比范圍：1.0:1 至 2.0:1
• 插入損耗：<0.05 dB max
• 插入電壓駐波比：1.05 max
• 方向性：28 dB min
• 校準(zhǔn)：NIST Traceable
• 射頻連接器：QC 7/16 DIN、N、HN、LC、QRM 和其他可根據(jù)要求提供
• 尺寸：6.0 英寸 x 1.9 英寸 x 3.7 英寸（155 毫米 x 50 毫米 x 95 毫米）不包括 QC 連接器
• 重量：小于 3 磅，1.4 公斤